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Controladores/medidores de flujo masivo SFC5500/SFM5500
Los controladores/medidores de flujo masivo SFC5500/SFM5500 de Sensirion son dispositivos basados en CMOSens®de gases múltiples digitales que miden el flujo masivo de gas por el principio de medición calorimétrico basado en la transferencia de calor. Los controladores o medidores logran índices inigualables de velocidad, precisión y repetibilidad a un costo de sistema muy atractivo. Se integran un elemento térmico en una membrana aislada térmicamente y dos termopilas ubicadas arriba y abajo en un solo chip de silicio. En presencia del flujo de gas, se altera la distribución de temperatura hacia arriba y abajo. Luego se mide esta asimetría. Un diseño de canal más grande hace que el dispositivo sea más robusto contra partículas, obstrucciones y gases humidificados. Los sensores basados en CMOSens®también son muy resistentes a las perturbaciones electromagnéticas (EMC) gracias al diseño compacto de un solo chip y al montaje entre piezas metálicas.